Dispositivo de pulverización catódica

Dispositivo de pulverización catódica
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El dispositivo de pulverización desarrollado y fabricado por Northglass incluye cátodos giratorios / planos, bloques terminales y barras magnéticas. Y, además, podemos proporcionar diseño y fabricación personalizados para todas las máquinas de revestimientos nuevas y viejas con las partes que se mencionaron anteriormente.

Northglass ofrece cátodo giratorio simple, cátodo giratorio doble, cátodo plano simple y cátodo doble plano. Cada componente del cátodo contiene base del cátodo, tapa, distribución de gas, conexión de agua y electricidad, medición al vacío, sistema de control, etc.

Bloque terminal

Northglass ofrece tres series de bloques terminales: EB-CAC, EB-CB y EB-CS para cumplir con lo que necesita cada cliente en cada área.
Todos los bloques terminales se pueden mantener por el propio personal capacitado de los usuarios y el programa de capacitación puede puede llevarse a cabo en el taller del usuario, ahorrando tiempo y disminuyendo gastos en gran medida.

1. Serie EB-CAC
Cada par de bloques terminales se compone de terminales de accionamiento y terminales de agua / eléctricas. La terminal motriz sirve para la rotación del objetivo y el otro es para la conexión de agua / electricidad.
Esta serie se puede utilizar en casi todas las clases de cátodos de revestidores simétricos.

Serie Tipo Frecuencia de corriente RPM Diámetro del tubo direccional Longitud del tubo direccional Voltaje seguro
EB-CAC Terminal doble ≤320A, ≤40kHZ ≤30r/min ≤155mm ≤3900mm < 1500V

2. Serie EB-CB
Se compone de una terminal funcional y una de soporte en cada par. La terminal funcional sirve para la rotación del objetivo y la conexión de agua / electricidad, y el otro sirve como soporte.
Esta serie se puede usar en revestidores asimétricos.

Serie Tipo Frecuencia de corriente RPM Diámetro del tubo direccional Longitud del tubo direccional Voltaje seguro
EB-CB Terminal simple ≤320A, ≤40kHZ ≤30r/min ≤155mm ≤3900mm < 1500V

3. Serie EB-CS
Se compone de una terminal funcional y una de soporte en cada par. La terminal funcional sirve para la rotación del objetivo y la conexión de agua / electricidad, y el otro sirve como soporte.
La distancia del sustrato objetivo se puede ajustar de manera sencilla gracias al método de instalación hacia abajo.

Serie Tipo Frecuencia de corriente RPM Diámetro del tubo direccional Longitud del tubo direccional Voltaje seguro
EB-CS Terminal simple ≤225A, ≤40kHZ ≤30r/min ≤155mm ≤2500mm < 1500V
Barra magnética serie MB
Características técnicos:
  • El tubo de soporte de aluminio extruido logra que el imán y su yugo se alejen del agua de enfriamiento con el fin de que se evite el cambio del campo magnético debido a la inmersión en el agua por un extenso periodo de tiempo. Mejora la rigidez de la barra magnética y disminuye la fluctuación del campo magnético gracias a la fricción entre el acero magnético doblado y el tubo objetivo.
  • La uniformidad del campo magnético es capaz de controlarse de manera precisa a través del uso de una nueva estructura de ajuste de rosca.
  • El agua de enfriamiento es expulsada de manera directa desde la ubicación de alta temperatura del tubo objetivo, removiendo así el calor eficientemente.
  • Es fácil y conveniente para instalar y mantener.
Tipo/Datos MB3300 MB2540 MB1400
Longitud de la barra magnética ( mm ) 3850 3192 1920
Fuerza magnética >550GS
Homogeneidad ≤±1.0%
Rango ajustable ≤±25%
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